개선된 투과형 타원법을 사용한 LCD 배향막의 러빙효과 측정

Author(s)
염경훈
Advisor
김상열
Department
일반대학원 분자과학기술학과
Publisher
The Graduate School, Ajou University
Publication Year
2013-08
Language
kor
Keyword
EllipsometryLCD alignment layer배향막광학이방성
Abstract
본 논문에서는 투과형 타원계를 사용하여 배향막의 러빙 유무를 측정 및 평가하기 위하여 기존에 사용되던 시료회전형 PCSA방식을 모듈 회전형 PCSA방식으로 변경한뒤 여러 개선을 통하여 측정정밀도를 대폭 향상 시키었으며, 투과형 타원계를 사용하여 측정 시 배향막의 이방성 정보에 기층의 이방성 정보까지 더하여져 나오는 문제를 해결하기 위하여 배향막의 기층부분인 유리가 가지고 있는 이방성을 측정하여 이를 전체 이방성에서 감해주었다. 그 결과 순수 러빙에 의한 배향막의 이방성만을 측정 하였으며 이를 통해 러빙이 잘 되었는지 유무를 파악 할 수 있었다.
Alternative Abstract
In this paper, we used transmission ellipsometry to measure the net retardation by rubbing. And the precision of retardation measurement has been improved upto 3sigma< 0.005 nm by some improvements such as module rotating methods instead of the sample rotation methods. but it has light overlapping problem because transmission methods analyzed not only net retardation of rubbed PI but substrates. so we introduced RVD(Retardation Vector Difference) method, which is excluded substrate retardation from after rubbing. trough this, we can analyzed net reatardation of only rubbing.
URI
https://dspace.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/3394
Fulltext

Appears in Collections:
Graduate School of Ajou University > Department of Molecular Science and Technology > 3. Theses(Master)
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