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미세분광기를 이용한 교류형 플라즈마 패널에서 보호막의 식각률 측정
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김상열 | - |
| dc.contributor.author | 신길용 | - |
| dc.date.accessioned | 2018-11-08T07:49:05Z | - |
| dc.date.available | 2018-11-08T07:49:05Z | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.other | 5134 | - |
| dc.identifier.uri | https://dspace.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/7329 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--아주대학교 대학원 :분자과학기술학과,2003 | - |
| dc.description.tableofcontents | test | - |
| dc.language.iso | kor | - |
| dc.publisher | The Graduate School, Ajou University | - |
| dc.rights | 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다. | - |
| dc.title | 미세분광기를 이용한 교류형 플라즈마 패널에서 보호막의 식각률 측정 | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.affiliation | 아주대학교 일반대학원 | - |
| dc.contributor.department | 일반대학원 분자과학기술학과 | - |
| dc.date.awarded | 2003. 2 | - |
| dc.description.degree | Master | - |
| dc.identifier.localId | 563126 | - |
| dc.identifier.url | http://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000005134 | - |
- Appears in Collections:
- Graduate School of Ajou University > Department of Molecular Science and Technology > 3. Theses(Master)
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