OLED 증착 공정의 glass 열 변형 개선 연구

Abstract

세계 중소형 display 시장은 기존 TFT-LCD에서 OLED로 변화하고 있다. 이러한 시장 상황을 반영하여 국내외 display panel 제작 업계는 OLED 기술 혁신 및 생산성 확대를 위해 많은 노력을 하고 있다. 더불어, 차세대 신사업 중 하나인 미래 display 시장을 선점하기 위해 고품질의 신제품 개발에 심혈을 기울이고 있다.

그러나 OLED의 시장 수요가 고급화 및 다양화 되어가고 있는 것에 비교할 때, OLED 생산 기술의 수준은 크게 부족하여 고객이 요구하는 품질 수준을 따라가지 못하고 있다. 또한 고객만족을 위한 OLED panel 생산 기술 수준이 고도화 될수록 OLED 증착 공정에서는 생산 및 품질 측면에서 고질적인 문제점이 지속적으로 발생되고 있다. 이러한 문제점들은 생산 현장에서 품질 측면의 수율을 저하시킬 뿐만 아니라 생산성 악화라는 제2의 문제점을 발생시킨다.

본 연구에서는 중소형 OLED 증착 공정에서 생산 및 품질을 저하시키는 문제점 중 glass pixel position 틀어짐에 의한 불량 개선에 대해 접근하였다. OLED 증착 공정에서 glass pixel position 틀어짐에 영향을 끼치는 발생 요인은 특성요인도를 통해 도출하였고, 도출된 발생 요인들은 X-Y matrix 기법을 이용하여 우선순위를 정하였다. 이를 통해 glass pixel position 틀어짐의 가장 큰 영향을 끼치는 요인은 OLED 증착 공정의 고온으로 인한 glass 열 변형임을 확인하였다. 확인된 요인의 문제 해결을 위해서 기존의 관련 연구를 분석하여 glass 열 변형의 원인 및 메커니즘에 대해 파악하였다. 또한 창의적 문제 해결 기법인 트리즈의 모순행렬을 통해 설비 측면의 개선안을 적용하여 glass 열 변형을 최소화하고자 하였다.

OLED 증착 공정에서 glass 열 변형에 의해 야기되는 glass pixel position 틀어짐 발생으로 인한 불량 개선이 목표였던 본 연구결과는 pattern 형성을 위해 고온이 적용되는 타 공정에도 적용 가능하리라 생각된다. 뿐만 아니라, 품질 개선을 통해 생산성 측면의 이익 창출에도 많은 기여를 할 수 있을 것으로 기대된다.