폴리스티렌, 실리카 고형 구체를 이용한 마이크로 패턴 제작

Abstract

폴리스티렌 및 실리카 고형 구체를 이용하여 서브 마이크로 크기의 패턴을 제작하고, 전자투사 현미경, 광학현미경, 회절무늬 측정 등을 통하여 그 구조를 확인하였다. 투광도 측정을 통하여 제작된 구조의 회절, 산란, 반사 등의 광학적 특성을 확인하였으며, 시뮬레이션 결과와 기초적인 광학 이론을 통하여 이를 설명하였다. 제작된 구조를 이용하여 다른 시료에 구조를 제작하였고, 이들의 광학적 전기적 특성을 조사하였다.