나노구조 인듐-주석-산화물 전극을 이용한 액정 레이저 제작 및 특성 연구

Abstract

유기 염료 레이저는 가시광 영역에서 넓은 파장 가변성, 고유의 낮은 문턱에너지, 간단한 공정 때문에 주목 받고 있다. 특히 Distributed Feedback (DFB) 구조는 유기 레이저를 제작하기 위해 선호되는 공진기 형태 중 하나이다. 본 연구에서는 1차원 주기의 나노 구조를 가지는 인듐 주석 산화물( Indium-Tin-Oxide; ITO) 박막을 ITO 나노 입자를 이용한 습식공정과 나노임프린트 리소그래피(nanoimprint lithography)의 방법을 이용하여 제작하였다. 이렇게 제작된 ITO 나노구조 박막은 DFB 공진기, 투명 전극, 네마틱 액정 배향막의 역할을 동시에 수행할 수 있으며, ITO 나노 구조 전극에 기초한 레이저 소자의 전기 가변 특성도 입증이 되었다. 현재의 레이저 발진 소자는 광학 소자에 다양하게 응용될 것으로 기대된다.