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2013-02
MOCVD를 이용한 GaN, AlGaN, InGaN 및 SnO2 박막의 증착메커니즘과 속도식
김준현
2018-02
원자층 증착법을 이용한 차세대 반도체 소자용 기능성 유전 박막 연구
김수빈
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