다양한 형태의 표면 섭동들에 대한 SH-SAW 소자 응답의 매개 변수 연구

Abstract

이 논문은 다양한 표면 적재 상태들의 SH-SAW 소자 응답에 대한 매개 변수 연구를 제공한다. 매개 변수 연구는 i) 압전기판, ii) 운영 주파수, iii) IDT 형태, iv) 리플렉터 형태 와 v) waveguide 등과 같이 소자의 기능적인 매개 변수들을 다양화함으로써 수행되었다. 디자인된 소자들의 배열형태들은 위에 언급된 파라미터들의 다양한 조합으로 추출되었다. 추출된 파라미터들을 평가하기 위해서 제작된 디바이스들은 다양한 종류의 표면 섭동들 즉, (i) 다른 두께의 waveguide층(질량적재), (ii) 수분 흡수 실험(액체 적재), 그리고 (iii) 온도의 민감도에 대상이 되었다. 제작된 모든 소자들은 네트워크 분석기(Network Anlayzer)를 통해 측정되었고, 시간영역과 주파수 영역에 대한 S11 응답을 관찰하였다.