GaN 박막 성장에서 광 간섭계를 이용한 실시간 두께측정
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.advisor | 이해영 | - |
dc.contributor.author | 박현우 | - |
dc.date.accessioned | 2018-11-08T06:50:40Z | - |
dc.date.available | 2018-11-08T06:50:40Z | - |
dc.date.issued | 2001 | - |
dc.identifier.other | 7298 | - |
dc.identifier.uri | https://dspace.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/4023 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--아주대학교 산업대학원 :정보전자공학과,2001 | - |
dc.language.iso | kor | - |
dc.publisher | The Graduate School, Ajou University | - |
dc.rights | 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다. | - |
dc.title | GaN 박막 성장에서 광 간섭계를 이용한 실시간 두께측정 | - |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.affiliation | 아주대학교 산업대학원 | - |
dc.contributor.department | 산업대학원 정보전자공학과 | - |
dc.date.awarded | 2001. 2 | - |
dc.description.degree | Master | - |
dc.identifier.localId | 561313 | - |
dc.identifier.url | http://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000007298 | - |
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