산화아연 나노구조체의 전기적,광학적 특성 연구

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dc.contributor.author오영무-
dc.date.accessioned2018-11-08T06:27:38Z-
dc.date.available2018-11-08T06:27:38Z-
dc.date.issued2009-02-
dc.identifier.other9810-
dc.identifier.urihttps://dspace.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/3155-
dc.description학위논문(석사)--아주대학교 일반대학원 :에너지시스템학부,2009. 2-
dc.description.tableofcontents제 1 장 서 론 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 1 제 2 장 실 험 기 초 이 론 제 1 절 전계효과 트랜지스터 소자의 특성 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 2 제 2 절 음극선 발광법(Cathodoluminescence) ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 10 제 3 장 소 자 제 작 방 법 제 1 절 감광물질을 이용한 포토리소그래피 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 14 제 1 항 양성감광물질을 이용한 방법 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 14 제 2 항 음성감광물질을 이용한 방법 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 20 제 3 항 현상 속도가 다른 중합체층을 이용한 방법 ⟜ ⟜ ⟜ 24 제 2 절 전자빔리소그래피(E-beam lithography) ⟜ ⟜ ⟜ 30 제 4 장 실 험 결 과 제 1 절 ZnO 나노구조체 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 32 제 1 항 ZnO 나노구조체의 합성과 분산 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 32 제 2 항 ZnO 나노구조체의 광발광특성 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 36 제 2 절 ZnO 나노구조체 FET소자의 특성 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 38 제 1 항 ZnO 나노구조체 FET 소자의 광발광특성 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 38 제 2 항 ZnO 나노구조체 FET소자의 전기수송특성 ⟜ ⟜ ⟜ 44 제 3 절 서로 다른 전극물질이 증착된 ZnO 나노구조체 FET소자의 특성 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 50 제 5 장 결 론 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 56 참 고 문 헌 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 57-
dc.language.isokor-
dc.publisherThe Graduate School, Ajou University-
dc.rights아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.-
dc.title산화아연 나노구조체의 전기적,광학적 특성 연구-
dc.typeThesis-
dc.contributor.affiliation아주대학교 일반대학원-
dc.contributor.department일반대학원 에너지시스템학부-
dc.date.awarded2009. 2-
dc.description.degreeMaster-
dc.identifier.localId567719-
dc.identifier.urlhttp://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000009810-
dc.subject.keywordZnO-
dc.subject.keywordcathodoluminescence-
Appears in Collections:
Graduate School of Ajou University > Department of Energy Systems > 3. Theses(Master)
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