AJOU Central Library Repository: CCP type 식각공정에서의 wafer 균일도 향상을 위한 연구

CCP type 식각공정에서의 wafer 균일도 향상을 위한 연구

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	김상배	-
dc.contributor.author	유영남	-
dc.date.accessioned	2019-10-21T07:24:04Z	-
dc.date.available	2019-10-21T07:24:04Z	-
dc.date.issued	2014-08	-
dc.identifier.other	17967	-
dc.identifier.uri	https://dspace.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/18566	-
dc.description	학위논문(석사)--아주대학교 IT융합대학원 :IT융합공학과,2014. 8	-
dc.language.iso	kor	-
dc.publisher	The Graduate School, Ajou University	-
dc.rights	아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.	-
dc.title	CCP type 식각공정에서의 wafer 균일도 향상을 위한 연구	-
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.affiliation	아주대학교 IT융합대학원	-
dc.contributor.department	IT융합대학원 IT융합공학과	-
dc.date.awarded	2014. 8	-
dc.description.degree	Master	-
dc.identifier.localId	652535	-
dc.identifier.url	http://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000017967	-
dc.subject.keyword	CCP	-
dc.subject.keyword	식각공정	-

Appears in Collections:: Special Graduate Schools > Graduate School of IT Convergence > Department of IT Convergence Engineering > 3. Theses(Master)

qrcode

AJOU Central Library Repository는 국립중앙도서관 OAK 보급사업으로 구축되었습니다.