변압기 내 절연유의 수분 함유량 실시간 모니터링을 위한 습도센서 개발
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.advisor | 이기근 | - |
dc.contributor.author | 류건희 | - |
dc.date.accessioned | 2018-11-08T08:28:02Z | - |
dc.date.available | 2018-11-08T08:28:02Z | - |
dc.date.issued | 2018-08 | - |
dc.identifier.other | 28153 | - |
dc.identifier.uri | https://dspace.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/14031 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--아주대학교 일반대학원 :전자공학과,2018. 8 | - |
dc.description.abstract | 본 논문은 순수 polyimide만을 이용한 고감도의 capacitance type의 습도센서 개발에 대한 연구이다. Comsol simulation을 통해 metal width, spacing width, polyimide thickness에 대한 최적화를 완료하였으며 반복적인 공정 과정을 거쳐 반응성이 높고 안정성 및 내구성이 우수한 상태의 polyimide를 만들 수 있는 curing 조건을 완성시켰으며 유효한 capacitance 값을 갖는 metal-insulator-metal 3 layer 구조의 습도센서가 제작되었고 polyimide와 물 분자의 접촉 면적을 넓히기 위해 RIE 처리를 함으로써 감도를 극대화시켰다. 제작된 센서는 항온항습 chamber 내에서 25℃의 일정한 온도를 유지한 채 약 20%~90% 범위 내에서 상대습도를 변화시키면서 LCR meter를 이용하여 센서의 주파수에 따른 Sensitivity, hysteresis, response time, stability 등이 측정되었다. 마찬가지로 절연유 내에서 상대습도에 따른 capacitance 값이 측정되었다. 결과적으로 제작된 소자는 1.6pF/%RH의 sensitivity를 보여주고 있으며 40%RH에서 약 6.45%RH의 Hysteresis를 갖는다. 1분 내의 매우 빠른 응답속도와 400시간 이상에도 capacitance 값을 거의 같게 유지하는 내구성 및 안정성을 보여주었으며 기존의 planar 구조의 polyimide 습도센서[1]에 비해 더 높은 sensitivity를 확인할 수 있었다. | - |
dc.description.tableofcontents | 제 1장 서론 1.1 연구배경 1.2 제안 센서의 동작원리 및 구성도 제 2장 최적 설계 및 COMSOL simulation 제 3장 제작 및 testing setup 3.1 제작 3.2 Testing setup 제 4장 측정 결과 4.1 공기 챔버 내 센서 측정 4.2 오일 내 센서 측정 제 5장 결론 참고문헌 Abstract | - |
dc.language.iso | kor | - |
dc.publisher | The Graduate School, Ajou University | - |
dc.rights | 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다. | - |
dc.title | 변압기 내 절연유의 수분 함유량 실시간 모니터링을 위한 습도센서 개발 | - |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.affiliation | 아주대학교 일반대학원 | - |
dc.contributor.department | 일반대학원 전자공학과 | - |
dc.date.awarded | 2018. 8 | - |
dc.description.degree | Master | - |
dc.identifier.localId | 887540 | - |
dc.identifier.uci | I804:41038-000000028153 | - |
dc.identifier.url | http://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/common/orgView/000000028153 | - |
dc.subject.keyword | 습도센서 | - |
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