변압기 내 절연유의 수분 함유량 실시간 모니터링을 위한 습도센서 개발

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dc.contributor.advisor이기근-
dc.contributor.author류건희-
dc.date.accessioned2018-11-08T08:28:02Z-
dc.date.available2018-11-08T08:28:02Z-
dc.date.issued2018-08-
dc.identifier.other28153-
dc.identifier.urihttps://dspace.ajou.ac.kr/handle/2018.oak/14031-
dc.description학위논문(석사)--아주대학교 일반대학원 :전자공학과,2018. 8-
dc.description.abstract본 논문은 순수 polyimide만을 이용한 고감도의 capacitance type의 습도센서 개발에 대한 연구이다. Comsol simulation을 통해 metal width, spacing width, polyimide thickness에 대한 최적화를 완료하였으며 반복적인 공정 과정을 거쳐 반응성이 높고 안정성 및 내구성이 우수한 상태의 polyimide를 만들 수 있는 curing 조건을 완성시켰으며 유효한 capacitance 값을 갖는 metal-insulator-metal 3 layer 구조의 습도센서가 제작되었고 polyimide와 물 분자의 접촉 면적을 넓히기 위해 RIE 처리를 함으로써 감도를 극대화시켰다. 제작된 센서는 항온항습 chamber 내에서 25℃의 일정한 온도를 유지한 채 약 20%~90% 범위 내에서 상대습도를 변화시키면서 LCR meter를 이용하여 센서의 주파수에 따른 Sensitivity, hysteresis, response time, stability 등이 측정되었다. 마찬가지로 절연유 내에서 상대습도에 따른 capacitance 값이 측정되었다. 결과적으로 제작된 소자는 1.6pF/%RH의 sensitivity를 보여주고 있으며 40%RH에서 약 6.45%RH의 Hysteresis를 갖는다. 1분 내의 매우 빠른 응답속도와 400시간 이상에도 capacitance 값을 거의 같게 유지하는 내구성 및 안정성을 보여주었으며 기존의 planar 구조의 polyimide 습도센서[1]에 비해 더 높은 sensitivity를 확인할 수 있었다.-
dc.description.tableofcontents제 1장 서론 1.1 연구배경 1.2 제안 센서의 동작원리 및 구성도 제 2장 최적 설계 및 COMSOL simulation 제 3장 제작 및 testing setup 3.1 제작 3.2 Testing setup 제 4장 측정 결과 4.1 공기 챔버 내 센서 측정 4.2 오일 내 센서 측정 제 5장 결론 참고문헌 Abstract-
dc.language.isokor-
dc.publisherThe Graduate School, Ajou University-
dc.rights아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.-
dc.title변압기 내 절연유의 수분 함유량 실시간 모니터링을 위한 습도센서 개발-
dc.typeThesis-
dc.contributor.affiliation아주대학교 일반대학원-
dc.contributor.department일반대학원 전자공학과-
dc.date.awarded2018. 8-
dc.description.degreeMaster-
dc.identifier.localId887540-
dc.identifier.uciI804:41038-000000028153-
dc.identifier.urlhttp://dcoll.ajou.ac.kr:9080/dcollection/common/orgView/000000028153-
dc.subject.keyword습도센서-
Appears in Collections:
Graduate School of Ajou University > Department of Electronic Engineering > 3. Theses(Master)
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