반사형 타원계를 이용한 Polyimide 배향막의 초미세 표면 이방성 정밀 측정

Abstract

배향막(Alignment layer)은 LCD 패널 내에서 초기 액정분자들이 안정된 분포를 가지도록 고정시켜 줌으로써 디스플레이의 응답속도, 명암대비, 시야각 등의 특성을 유지할 수 있도록 한다. 이에 따라 고화질의 LCD 패널을 만들기 위해 배향막 형성의 제어와 평가가 필수적이다. 본 연구에서는 ITO 유리기층에 형성되는 러빙 배향막의 배향 정도를 평가, 분석하기 위해 반사형 타원계의 이방성 측정 정밀도를 크게 향상시켰다. 타원법은 편광된 빛이 시료에 반사 혹은 투과되어 나오는 편광상태의 변화를 측정, 분석하는 방법이다. 광학이방성 측정에 있어 투과형 타원계를 사용하여 초미세 광학이방성을 정밀하게 측정할 수 있음이 발표된 바 있다. 하지만 이 방법은 빛이 시료를 투과하는 방식이기 때문에 동일한 위치에서 기층의 잔류이방성을 별도로 측정해 제거해야 한다는 번거로움이 있고, 이에 따라 생산라인에서 실시간으로 적용하는데 큰 어려움이 있다. 본 연구에서는 개선된 PCSA(Polarizer ? Compensater ? Sample - Analyzer) 구조의 반사형 타원계를 이용하여 기판의 잔류 이방성의 존재 유무에 상관없이 배향막의 초미세 광학이방성을 측정할 수 있음을 보여준다. 또한 배향막의 미세이방성을 투과형 타원계를 사용하여 측정한 결과와 비교, 분석하여 본 연구에서 개발한 반사형 타원계의 성능을 평가하였다.