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2022-02Fault Detection with Index Regression Correction and Variational Smoothing for Semiconductor Equipment Sensor Signal하태경
2018-02반도체 공정의 Q-time 관리를 위한 스케쥴링 알고리듬정영현
2015-02반도체 생산라인에서 시뮬레이션을 이용한 병목공정 탐지 프레임워크Yang Ka Ram
2018-02스퍼터링법으로 형성한 MoS2 박막의 황화공정 최적화최영준
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