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Issue Date | Title | Author(s) |
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2022-02 | Fault Detection with Index Regression Correction and Variational Smoothing for Semiconductor Equipment Sensor Signal | 하태경 |
2018-02 | 반도체 공정의 Q-time 관리를 위한 스케쥴링 알고리듬 | 정영현 |
2015-02 | 반도체 생산라인에서 시뮬레이션을 이용한 병목공정 탐지 프레임워크 | Yang Ka Ram |
2018-02 | 스퍼터링법으로 형성한 MoS2 박막의 황화공정 최적화 | 최영준 |