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2022-08원자층 증착법 기반의 Vanadium oxide 박막 제조 및 비휘발성 메모리 특성 평가 연구이왕곤
2018-02원자층 증착법을 이용한 차세대 반도체 소자용 기능성 유전 박막 연구김수빈
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